朱 煜：清华大学机械工程系教授、博士生导师
来源：管理员 | 上传者: 中华朱氏网 | 2020/04/28|浏览量:3633
朱煜，工学博士，清华大学机械工程系长聘教授、博士生导师，中组部“万人计划”首批科技创新领军人才，科技部首批重点领域“超精密机械与测控创新团队”负责人，清华大学机械电子工程研究所所长;担任国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长、技术副总师，装备组、光刻机组组长，光刻设备产业技术创新战略联盟专家委员会副主任。出版学术专著2部，发表论文170余篇，申请国家发明专利160余项，授权90余项，其中美国专利9项。